品牌 | 潔盟(Skymen) | 型號(hào) | JTM-5120AD |
外形尺寸 | 5240*2200*2550mm | 內(nèi)槽尺寸 | 500*450*300mm |
電源 | 380V 50HZ | 總功率 | 30KW |
超聲波清洗、漂洗 |
超聲波頻率 | 40KHz | 超聲波功率 | 1500W |
溫度控制 | 常溫-95C° | 加熱功率 | 3000W |
循環(huán)過(guò)濾 | 有 | 過(guò)濾精度 | 5μ |
熱風(fēng)烘干 |
烘干溫度 | 常溫-120C° | 加熱功率 | 3000W |
全自動(dòng)晶圓超聲波清洗機(jī)工藝流程:
上料→超聲波清洗→超聲波漂洗→超聲波漂洗→超聲波漂洗→熱風(fēng)烘干→下料
全自動(dòng)晶圓超聲波清洗機(jī)功能特點(diǎn):
1、獨(dú)立數(shù)顯溫控器,超過(guò)設(shè)定溫度,報(bào)警或停機(jī)
2、清洗籃投入、搬出及移送由單臂機(jī)械手完成
3、采用微電腦控制定時(shí)器,實(shí)時(shí)顯示清洗時(shí)間
4、帶拋動(dòng)機(jī)構(gòu),超聲波清洗、漂洗槽聯(lián)體拋動(dòng)
5、槽體溢流結(jié)構(gòu)、更換溶劑重力引流廢水
6、配置制冷裝置,恒定特殊溶劑溫度